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PDF/月刊誌論文/code:pg_0906_07 マテリアル インテグレーション 2009年6月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0906_07 マテリアル インテグレーション 2009年6月号
MATERIALS INTEGRATION マイクロバブルとソノプロセス
音響整合層付き4分割150kHz PZT圧電セラミック振動子を用いた超音波照射システムによるナノダイヤモンド微粒子の分散性改善に関する研究
■著者
桐蔭横浜大学医用工学部臨床工学科 竹内 真一
■要約
近年,携帯電話やミニノートパソコンに小型高記憶密度ハードディスクが搭載されるようになってきた.そのために一次粒子径が5nmのナノダイヤモンド微粒子が将来の高記憶密度ハードディスクの超精密研磨用砥粒として期待されている. しかしながら,ナノダイヤモンド微粒子は製造直後に数十μmに凝集してしう.このように凝集したダイヤモンド微粒子を含んだ砥粒でハードディスク面を研磨するとスクラッチを生ずる恐れがある.したがって,ナノダイヤモンド微粒子を解凝集して一次粒子の大きさに近づけるとともに,再凝集しないように表面改質して,水中に均一に分散させることが重要である. 我々は,音響整合層付き4分割150kHzジルコン酸チタン酸鉛 (PZT) 圧電セラミック振動子を用いた超音波照射システムによってナノダイヤモンド微粒子の分散を行うための研究を行った.その結果,超音波照射によって発生した音響キャビテーションにより,数十μmに凝集していたナノダイヤモンド微粒子を平均粒径75nmに解凝集して,蒸留水中に分散させることができた.
