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PDF/月刊誌論文/code:pg_0908_04 マテリアル インテグレーション 2009年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0908_04 マテリアル インテグレーション 2009年8月号
ELECTRONIC CERAMICS 非鉛系圧電材料(2)
スクリーン印刷法による非鉛系強誘電体厚膜の作製
■著者
富山県工業技術センター加工技術課 課長 二口 友昭
■要約
スクリーン印刷法は,電子部品実装分野において,チップ型電子部品の作製,配線基板の製造および表面実装用半田ペ-ストの印刷等に,広く一般的に用いられている.スクリーン製版の上に置かれたペーストをスキージにより,開口部を通して基板に転写するものであり,厚膜形成とパターン形成が同時にできる方法であるため,低コストで材料の無駄が少なく生産性がいいという特徴がある.最近の精密スクリーン印刷機では,スキージ圧の制御やスクリ-ン製版および基板の位置の制御が精密に行われるようになり,印刷性のいいペーストを用いれば,数十μのパターンを作製することも可能である.また,細かいメッシュを使用することにより機能性有機薄膜パターンの形成も可能であり,これらを用いた薄膜素子や太陽電池への応用は,プリンタブルエレクトロニクスとして再び注目されている.ここでは,機能性無機材料の中でセンサやアクチュエータへの応用が特に期待されている非鉛系強誘電体厚膜をスクリーン印刷法により作製した例を紹介する.
