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新機能を生むマイクロ構造の創製とその応用 <増補改訂版>
新機能を生むマイクロ構造の創製とその応用 <増補改訂版>
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学術関連書籍
-3次元マイクロ構造、ヘリカルらせん構造、化学センシング、表面マイクロ構造-
2005年1月 発行
B5版
約600頁
■刊行主旨■
近年、ナノテクノロジーが技術的トレンドとして注目されています。しかし、ナノ領域が身近な技術として現れるためにはマイクロ領域からの接近が必要と考えられます。また、マイクロ領域構造体で発現する機能や、半導体のマイクロ加工技術によって提案されるデバイスも少なくありません。
本書は、1)三次元のマイクロ構造体の作製方法とその応用について、2)ヘリカルらせん構
