マテリアル インテグレーション 2005年5月号
特集　エアロゾルデポジション法

エアロゾルデポジション法による常温衝撃固化現象と集積化技術への展開
■著者
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門　集積加工研究グループ　グループ長　明渡　純

■要約
本報告では,経済産業省が平成14年度より国家プロジェクトとして研究開発を進めているエアロゾルデポジション法を中心に,溶射技術とは異なる固体粒子を用いた新しい噴射コーティング手法の原理や特徴,さらにその応用展開への取り組みを解説する.


エアロゾルデポジション法により作製した圧電薄膜の光スキャナ応用
■著者
ブラザー工業株式会社　NID開発部　浅井　伸明

■要約
マイクロアクチュエータ技術と光技術とを組み合わせ,光をアクティブに制御する光MEMSへの応用が実用化されている.光MEMSデバイスのひとつである共振型の光スキャナは,小型・低消費電力という特徴があることから,光をスキャニングする次世代表示デバイスのキーコンポーネントとして期待されている.表示デバイスとして応用するためには,高速走査,大走査角,適切なサイズのミラー,低いミラー撓み等,クリアすべき課題が多く,数μ程度の薄肉構造のミラーではなく,厚肉構造をとることが望ましい.その場合,駆動力が課題となるが,圧電方式は,駆動力の点で有利と考えられている.我々は,エアロゾルデポジション法(以下,AD法)の高速成膜性・局所成膜性に着目し,厚肉のスキャナ構造に圧電アクチュエータを作製し,高速かつ大走査角の光スキャナを試作した.本報告では,その加工プロセスおよび動作特性について報告する.


磁気光学効果を用いた空間光変調器の開発
■著者
豊橋技術科学大学　電気・電子工学系・先端スピンエレクトロニクス研究室　井上　光輝

■要約
我々は2000年頃から,磁性体の磁化方位を制御して光を変調する磁気光学式空間光変調器(Magneto-optic SLM: MOSLM)の開発を行ってきた.磁化の反転速度はナノ秒からサブナノ秒のオーダで生じるので,この原理に基づくSLMは本質的に高速動作が可能である特長をもつ.ここでは,これまでの研究成果で実現した電流駆動型MOSLMと,AD法で得た高性能圧電厚膜とのハイブリッド化で実現した圧電駆動型MOSLMについて述べる.


エアロゾルデポジション法で成膜したリラクサ強誘電体厚膜の特性
■著者
NECトーキン株式会社　研究開発本部　材料開発センター　川上　祥広

■要約
AD法を用いてPNN-PZT膜の成膜方法の検討を行い,SUSあるいはセラミック基板上へのペロブスカイト単相の厚膜形成が可能となったので,得られたPNN-PZT膜の圧電特性ならびに膜の微細構造について報告する.


エアロゾルデポジションを用いたエンベッディドキャパシタ樹脂基板
■著者
(株)富士通研究所　基盤技術研究所　主任研究員　今中　佳彦

■要約
欲しい情報をいつでもどこでも手に入れるために容易にコンピューターにアクセスできるユビキタスネットワーク環境が構築されつつある.このユビキタス社会を,さらに進化させるためには,高周波・高速ワイヤレス伝送技術と多機能端末機器の小型化がキーテクノロジーになると考えられる.現時点で端末機器として使用されている携帯電話・PDAなどは,より小型・軽量・多機能・高速・低価格化が望まれており,これらの携帯端末機器への要求を満たすための中心的技術の一つとしての電子部品・基板および実装技術が,大きくクローズアップされている.例えば,携帯端末機器にはBluetooth,GPS,無線LAN等の複数の機能が搭載され始め,この結果として生じる回路規模の大型化を押えるために,基板表面に搭載されている種々の高周波能動・受動素子をエンベッディド化して,小型化していくことが要求されている.また,高速データ通信に対応するために,高周波化・広帯域化が求められ,高周波においても損失が小さい部品・基板の実現が期待されている.


エアロゾルデポジション法を用いた高周波モジュールの開発
■著者
東京工業大学　理工学研究科　材料工学専攻　南　ソンミン　他

■要約
常温衝撃固化現象を用いたAD法によるアルミナ厚膜の成膜実験を通じ,常温でアルミナ厚膜の作製できることを示した.また,いかに出発原料の凝集を抑え,成膜するのかがAD法による成膜において最も重要であるかに対して考察した.さらに,電磁界解析シミュレーションにより,小型化高周波回路基板としてアルミナ厚膜を用いる時,約30$\mu$m以上の厚膜が必要になることが分かった.それによって高速成膜の可能なAD法は小型化高周波回路基板における有望な作製技術になることを示すことができた.そして,Cu基板上に作製したアルミナ厚膜上に新しく開発したCuパターンメッキ法を用い,微小10GHzバンド・パース・フィルタを作製し,新たな集積化高周波モジュールの可能性を示した.


エアロゾルデポジション法を用いたイメージングセンサとその応用
■著者
東陶機器(株)　総合研究所　材料技術部セラミック研究グループ　清原　正勝　他

■要約
本報告では,弊社で考案したマイクロ波を用い人体の動きを検知できるイメージングセンサについて紹介し,このセンサ作製におけるエアロゾルデポジション法(AD法)の適合性について報告する.


エアロゾルデポジション法による磁性膜の形成と応用
■著者
東北大学　大学院工学研究科　知能デバイス材料学専攻　助教授　杉本　諭　他

■要約
極めて高い堆積速度が得られるエアロゾル・デポジション (AD) 法は,高速で厚膜の作製が可能であることから,電磁ノイズ抑制体,厚膜磁石の作製方法として期待される.そこで我々は,AD法よるNiZn系フェライト厚膜,Sm-Fe-N系厚膜の作製を試み,電磁ノイズ抑制体,厚膜磁石への応用について検討した.なお本報告は「粉体および粉末冶金」「日本応用磁気学会誌」に掲載された論文・解説原稿を元に,作成されたものである.


エアロゾルデポジション法による透明電気光学薄膜
■著者
NEC基礎・環境研究所　主任研究員　助教授　中田　正文

■要約
我々は,AD法による薄膜形成を中心技術とする経済産業省ナノテクノロジープログラム「ナノレベル電子セラミックス材料低温成形・集積化技術」プロジェクトに2002年度より参画し,ナノフォトニックデバイス用の透明セラミックスとして電気光学薄膜形成方法の開発に着手している.本報告では,2章で電気光学材料,3章でAD法の光デバイス適用の利点を解説する.4章では,AD法で形成したPLZT薄膜の透過率が,光学素子に適用可能なレベルであること,5章では,薄膜としてトップレベルの電気光学効果を有することを明らかとしたので報告する.


連載
タイ便り(その30)ラオスへの旅
■著者
Chulalongkorn Univ. Faculty of Science 教授　和田　重孝

■要約
私はラオスに行ったことがない.しかし,私たち日本人にラオスの情報はほとんど伝わってこない.ベトナムでは長年の米国と共産党との戦争があった.カンボジアでは悲惨なクメール共産党の虐殺があった.ミャンマーは軍政の鎖国に近い状態が今も続いている.上の話が真実かどうかは別にして,ラオスの現実をいいえて妙であると思った.それほどにラオスは変化のない国という印象があった.


連載
近代日本のセラミックス産業と科学・技術の発展に尽力した偉人,怪人,異能,努力の人々(18)大学卒業後一生を新しい強誘電体の発見の興味を最後まで持ち,強誘電体の研究につくされ,また要職にありながら寸刻を惜しんで白衣を着て実験をされていた澤田正三教授
■著者
宗宮　重行


連載
第2次世界大戦後の日本のセラミックス科学の発達に友好や親善に尽力した世界の大学教授 (15) イギリス生れのX線結晶学者,戦後に粘土鉱物学の研究に一生を捧げた眞面目な,学究的な,親日的なアメリカペンシルバニア州立大学　George W. Brindley教授
■著者
宗宮　重行