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PDF/月刊誌論文/code:pg_9912_07マテリアル インテグレーション1999年12月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9912_07 マテリアル インテグレーション 1999年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 多様な電子機能をもつ酸化亜鉛の新展開
p型酸化亜鉛(ZnO)結晶の成長
■著者
山梨大学大学院 峰岸 一典、山梨大学工学部 春日 正伸
■要約
1994年,山梨大のグループは,成長系への過剰ZnとNH3の同時付加により,薄膜成長中にNドーピングを行い,初めて室温でp型伝導を示すZnO薄膜を成長させることに成功した.ここでは,このp型薄膜の成長とその特性について述べ,他の研究グループのp型ZnO実現へのアプローチを紹介する.
