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PDF/月刊誌論文/code:pg_9912_09マテリアル インテグレーション1999年12月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9912_09 マテリアル インテグレーション 1999年12月号
ELECTRONIC CERAMICS 多様な電子機能をもつ酸化亜鉛の新展開
ZnOエピタキシャル薄膜のc軸極性の同定
■著者
米国ローレンスバークレー国立研究所 大西 剛、東京工業大学 応用セラミックス研究所 吉本 護
■要約
筆者らは,これまで種々の酸化物の最表面解析に同軸型直衝突イオン散乱分光(CAICISS)と呼ばれる表面分析手法を初めて適用し,終端面の原子種および構造の同定に成功すると共にその簡便性を実証してきた.ここで述べる研究は,この手法をウルツ鉱型結晶におけるc軸極性の同定(ZnOやGaN)に応用したものである.ここではサファイア基板上に超高真空パルスレーザ堆積(レーザMBE成膜)したc軸配向ZnOエピタキシャル薄膜の成長極性の同定と成膜条件の影響に関するこれまでの研究成果を紹介する.
