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PDF/月刊誌論文/code:pg_9909_09 マテリアル インテグレーション 1999年9月

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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文) > 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9909_09 マテリアル インテグレーション 1999年9月号
ELECTRONIC CERAMICS 自動車産業に活躍するエレクトロニク・セラミクス

マイクロマシーニング技術を利用したエアコン用温・湿度センサ
■著者
東北学院大学 工学部 電気工学科 木村 光照

■要約
最近,車は安全走行性はもとより環境への調和が求められ,快適性と省エネルギー性から従来の温度と風量中心のエアコンから温・湿度センサとマイコンを駆使したきめ細かい制御を行う湿度管理も考慮したエアコンへと変革しつつある.そのため温・湿度センサには,耐環境性,長期安定性で,かつ低コストのセンサが求められて来ている.ここでは,温・湿度センサとして筆者らが開発したシリコンのマイクロマシーン技術を利用して作製した絶対湿度センサで,温度センサも兼用できる450℃程度の高温で室温付近の湿度を瞬時に計測する低消費電力・高速応答の熱伝導型絶対湿度センサを紹介する.
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