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PDF/月刊誌論文/code:pg_9908_11 マテリアル インテグレーション 1999年8月
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> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9908_11 マテリアル インテグレーション 1999年8月号
MATERIALS INTEGRATION InterMaterial [3]
連載特集
セラミックス開発の新兵器:TG-MS [3]スキマー方式TG-MSによる金属化合物蒸気の分析:常圧ヘリウム雰囲気における塩化鉛の蒸発挙動
■著者
ネッチゲレイテバウ東京事務所 松井 照夫
■要約
本解説では,スキマー方式と呼ばれるガスインターフェイスのTG-MSを紹介する.これはキャピラリーを一切使用しないネッチゲレイテバウ社独自の方式で,凝縮性ガスを発生する試料のMS分析に特に有効で,例えば金属の蒸気,金属酸化物の蒸気,金属を含む化合物の蒸気(CVD原料など)あるいは高分子の分析などに有利である.スキマー方式のコンセプトは古く,同社では長年の改良を重ねて来ており,欧米では多くのユーザーから評価されている.
