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PDF/月刊誌論文/code:pg_9908_08 マテリアル インテグレーション 1999年8月
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9908_08 マテリアル インテグレーション 1999年8月号
MATERIALS INTEGRATION InterMaterial [3]
4.Human Related Engineered Materials
新しい化学センサとその応用
■著者
大阪大学 産業科学研究所岩崎 裕、原田 哲郎、Abu Bakar Md. Ismail、吉信 達夫
■要約
近年,酸性雨に代表される環境問題などにおいて,汚染物質の特定や廃水の性質検査などに,化学センサが多く用いられるようになった.中でも,pHセンサは最も重要なセンサの一つであり,これまでその開発は多種に及んでいる.例えば,半導体素子である金属・酸化物・半導体電界効果トランジスタをイオンセンサとして応用したものに,ISFET(Ion Sensitive FET)がある.溶液と感応膜との界面電位の分だけゲート閾値電圧が変化することを利用したpHセンサである.ISFET とは異なり,半導体のフラットバンド電圧シフトをEIS(電解質/絶縁体/半導体)構造間の交流光電流によって測定するセンサ,LAPS (Light-Addressable Poten-tionmetric Sensor) がある.ここでは,LAPS及び,筆者らが開発したLAPSの特性を活かして走査型ビームで局所的なpHをマトリクス状に測定しながら二次元的なマッピングを実現した,化学イメージセンサについて述べる.
