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PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_10 マテリアル インテグレーション 1999年7月
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_10 マテリアル インテグレーション 1999年7月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性
LSCO酸化物電極の合成とその物性
■著者
東北大学金属材料研究所 増本 博、平井 敏雄、名古屋工業技術研究所 渡津 章、八戸工業大学電気工学科 増田 陽一郎利
■要約
PZT(Pb(Zr,Ti)O3)系強誘電体メモリーを作製するに当たり,疲労特性の向上は大きな課題のひとつとなっている.通常,強誘電体薄膜の上部,下部電極として,白金などの金属電極が用いられるが,導電性を有する酸化物を白金にかわる電極として用いた場合,疲労を押さえる働きがあることがわかってきた.これは電極/強誘電体界面に存在する酸素空孔が酸化物電極に吸収されてトラップされた電荷の安定化を抑制するためだとされている.ここでは,強誘電体メモリーとしてPZTを用いる際に問題となっている疲労特性の向上をめざした電極材料として,LSCO酸化物電極に着目し,スパッタリング法によりそのLSCO電極上に作製したPZT薄膜の特性を評価した結果について報告する.
