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PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_07 マテリアル インテグレーション 1999年7月
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_07 マテリアル インテグレーション 1999年7月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性
LB法によるチタン酸鉛薄膜の合成とその物性
■著者
(財)電気磁気材料研究所 菅井 弘、東北工業技術研究所 飯島 高志、東北大学金属材料研究所 増本 博
■要約
誘電体を薄膜化した場合,バルク材と比較して強誘電特性の低下が応用上の問題点となる.代表的な強誘電体であるチタン酸鉛においても,膜厚を500nm以下まで減少させた場合,比誘電率(ε)や残留自発分極(Pr)等の特性が急激に低下する.この特性低下は,膜中の酸素欠陥等に起因するとされており,アルミ二ウムやニオブの添加による特性改善の研究も行われている.筆者らは,溶液化学的作製法の代表であるゾル・ゲル法以外の超薄膜作製法として,分子超薄膜の作製手法の一つであるLB(ラングミュア・ブロジェット)法を適用した酸化物超薄膜の合成に関する研究に取り組んできた.ここでは,LB法を用いた新しい誘電体薄膜の合成法について,基本となる考え方や特徴,これまでの研究成果の概要について述べる.
