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PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_05 マテリアル インテグレーション 1999年7月
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_05 マテリアル インテグレーション 1999年7月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性
電子線誘起反応を用いた強誘電体薄膜の微細加工プロセス
■著者
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 岡村 総一郎、塩嵜 忠
■要約
近年になって,半導体集積回路に機能性材料を導入し,材料の持つ特性を活かして新しい機能を実現しようとする試みが盛んになっている.その代表が強誘電体薄膜を用いた不揮発性メモリー(FeRAM)である.現在,FeRAM用材料の有力な候補として挙がっているものは,Pb(Zr,Ti)O3 (PZT),SrBi2Ta2O9 (SBT)やBi4Ti3O12 (BIT)であるが,このような強誘電体材料は一般に複合酸化物であり,通常のエッチングによる微細加工では,各元素のエッチングレートの違い等から,一様なエッチングが難しい.筆者らは,電子線誘起反応を用いて前駆体段階でパターン化し,その後の熱処理で結晶化させることを特徴とした複合酸化物のための新しいパターニングプロセスを提案し研究を進めてきた.ここでは,その概要について報告する.
