- 商品コード：
-
code:pg_9907_04
PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_04 マテリアル インテグレーション 1999年7月
- 通常価格(税込)：
-
2,200
円
- 販売価格(税込)：
-
2,200
円
ポイント：
0
Pt
- 関連カテゴリ：
-
電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_04 マテリアル インテグレーション 1999年7月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性
不揮発性メモリー用強誘電体薄膜の分極特性に及ぼす空間電荷の影響
■著者
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 塩嵜 忠、岡村 総一郎
■要約
強誘電体薄膜を応用した不揮発性半導体集積化メモリー(FeRAM)開発の研究が盛んに行われている.これは,強誘電体の「外部電界により反転可能な自発分極を有する」という性質を利用し,電源を切ってもディジタル情報を保持することを可能としたメモリーである.FeRAM動作の信頼性向上のためには,強誘電体薄膜の安定した分極特性が望まれるが,実際の強誘電体薄膜は,分極反転を繰り返すことによりその分極特性が経時変化する.その原因に関しては様々に議論されているが,いまだに明確な結論は得られていない.ここでは,膜中の欠陥等に伴う空間電荷の存在に注目し,その分極特性への影響について考察する.
