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PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_02 マテリアル インテグレーション 1999年7月
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_02 マテリアル インテグレーション 1999年7月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性
YAGレーザーアブレーション法による強誘電体薄膜の作製と焦電特性
■著者
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究所 西田 貴司 八戸工業大学 藤田 成隆、増田 陽一郎
■要約
これまで,強誘電体材料はその機能性からセンサ・アクチュエータ素子としてバルクセラミックが用いられてきたが,近年は薄膜化への期待が高まっている.そのために強誘電体薄膜の作製法や電気的特性が活発に研究されている.最近になって薄膜強誘電体の特性は界面に大きく影響されることがわかり,特に電極層やバリア・バッファ層を含めた強誘電体多層構造に関する研究が注目されている.作製法としてこのような多種の材料を扱う研究において,特に有力な手法がYAGレーザアブレーション法である.ここでは,同手法を用いた強誘電体多層構造の作製の研究について紹介するとともに,酸化物電極層の導入による特性向上や素子特性について述べる.
