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PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_01 マテリアル インテグレーション 1999年7月
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9907_01 マテリアル インテグレーション 1999年7月号
MATERIALS INTEGRATION 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性
強誘電体薄膜の合成とデバイス開発の現状
■著者
八戸工業大学工学部 増田 陽一郎
■要約
強誘電体薄膜の分野では,半導体工学をベースに,高温超伝導で蓄積された数々の知見を生かして,薄膜における原子層積層制御,クラスター変調分布制御,ナノ構造傾斜制御などに人工超格子薄膜ナノプロセスを適用することにより,変換機能の複合化を達成するとともに自発的機能変換特性の創出を試み,無機的機能変換を越えた有機的機能変換特性を備えた次世代の人工材料創製のための探索的研究が行われている.本解説は日本学術振興会未来開発推進研究,[次世代人工物質・材料の探査的研究:誘電体薄膜の複合構造制御による高性能化と機能変換の多様化]のプロジェクトメンバーにより強誘電体薄膜の合成とデバイス開発の現状について解説して頂いた.
