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PDF/月刊誌論文/code:pg_9904_07 マテリアル インテグレーション 1999年4月
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> 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9904_07 マテリアル インテグレーション 1999年4月号
MATERIALS INTEGRATION 環境用センサ
非冷却赤外線イメージセンサの現状と課題
■著者
大阪大学 基礎工学研究科 奥山 雅則
■要約
室温の物体や人体から10μm付近の赤外線(熱線)が輻射されており,これを検知することによりその存在や温度の情報が得られ,種々の応用がなされている.例えば,自動扉,侵入警戒器,蛇口の開閉,電子レンジの調理等の制御,さらに科学計測などがある.しかし,赤外線を用いたセンシングの中でもその威力を示すのは,物体や装置の温度分布,夜間の物体認識あるいは地球上の資源探査などのリモートセンシングにおける赤外線撮像(サーモグラフィ)であろう.最近,熱型のセンサをうまく使った赤外線イメージセンサが作製されかなりの性能を示し,冷却無しという実用的に大きな魅力を有することから感心を集めている.ここでは,熱型センサを用いた代表的な室温動作可能な赤外線イメージセンサについての最近の結果を概観する.