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PDF/月刊誌論文/code:pg_9904_03 マテリアル インテグレーション 1999年4月
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PDF/月刊誌論文/code:pg_9904_03 マテリアル インテグレーション 1999年4月号
MATERIALS INTEGRATION 環境用センサ
半導体製造用ガスのセンシングの現状と課題
■著者
理研計器(株) 研究部 中野 信夫
■要約
半導体の製造工程で使用される化学物質には,酸,アルカリ,有機溶剤,汎用ガスなどの他に,半導体製造に特有な特殊材料ガスなどがある.さらに半導体工業の技術進歩は速く,次々に新しい化学物質が登場してくるが,それらの化学物質は,そのほとんどが危険な性質を持っている.その取り扱い量は必ずしも多くないが,急性毒性,可燃性,爆発性が強いので,十分な注意が必要である.ここでは,半導体の製造工程で使用されるガスの安全管理の手段としてのガス漏洩検知の現状と今後の課題について述べる.
