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PDF/月刊誌論文/code:pg_9902_09 マテリアル インテグレーション 1999年2月

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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文) > 1999
PDF/月刊誌論文/code:pg_9902_09 マテリアル インテグレーション 1999年2月号
MATERIALS INTEGRATION JFCC((財)ファインセラミックスセンター)-世界のCOEを目指して-
3.JFCCの評価技術
低電子線照射量でのTEM観察によるゼオライトの構造解析
■著者
(財)ファインセラミックスセンター 試験研究所 佐々木 優吉、鈴木 敏之、清水 わたる

■要約
ゼオライト及びその類縁化合物であるミクロポーラス材料が持つ特性の多くは,その結晶構造に依存して規則配列した細孔に深く関与している.したがって,これら細孔を直接観察することを可能とする透過型電子顕微鏡(TEM)観察は,ミクロポーラス材料の構造解析のための大変有用な手段の一つと言える.しかし,同材料が電子線照射に対して敏感であり照射損傷を受けやすいという問題がある.筆者ら研究グループは,それに対する解決手段として期待されている高感度ディジタル画像記録方式を利用した低電子線量照射条件下での高分解能TEM観察を実施し,幾つかのゼオライトの構造解析を行ってきた.ここでは,その手法について紹介すると共に,観察例の幾つかを紹介しその有効性を示す.
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