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PDF/月刊誌論文/code:pg_0003_01 マテリアル インテグレーション 2000年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0003_01 マテリアル インテグレーション 2000年3月号
ELECTRONIC CERAMICS 機能性単結晶材料-最近話題の材料と技術の進歩-
総論:電子・デバイスに活躍する機能性単結晶材料
■著者
東北大学 金属材料研究所 福田 承生
■要約
現在,Si,GaAs,水晶,Y3Al5O12(YAG),LiNbO3(LN),LiTaO3(LT)など数々のバルク単結晶がエレクトロニクス,オプトエレクトロニクスの基盤材料として極めて重要な役割をはたしている.それらのデバイスの高集積化,高速化,高性能化が進み単結晶に対する要求も一層厳しくなっている.同時に,最近の急速なデバイス技術の進化にともない,従来の材料だけでは対応が困難にもなってきている.つまり,酸化物やフッ化物などを中心とする新しい機能性単結晶材料の必要性に迫られており,再び新しい機能性単結晶材料の開発研究が活発化してきている.本稿では,日本のバルク単結晶開発の歩み,変遷,そして,単結晶成長技術の展望と注目された技術について述べる.
