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PDF/月刊誌論文/code:pg_0003_09 マテリアル インテグレーション 2000年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0003_09 マテリアル インテグレーション 2000年3月号
ELECTRONIC CERAMICS 機能性単結晶材料-最近話題の材料と技術の進歩-
ダイヤモンドの合成と応用
■著者
住友電気工業(株) 伊丹研究所 主任研究員 今井 貴浩
■要約
ダイヤモンドは,地上で最も硬い物質として工業的には主として砥石や切削工具,耐摩工具に用いられてきたが,1980年代初期にメタンガスなどを原料としてダイヤモンド薄膜を気相合成する手法が確立されてからは,電子材料分野での製品開発が活発に進められている. 本稿では,電子材料分野におけるダイヤモンドの応用の現状と,ダイヤモンド単結晶の気相成長技術の最近の進展について述べる.
