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PDF/月刊誌論文/code:pg_0004_06 マテリアル インテグレーション 2000年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0004_06 マテリアル インテグレーション 2000年4月号
INTER MATERIAL 21世紀に飛躍する材料
New Energy Related Engineered Materials
界面,欠陥制御とソーラセル
■著者
大阪大学産業科学研究所 小林 光
■要約
半導体の界面状態は,LSIに用いられる金属-酸化物-半導体(MOS)デバイス,太陽電池,液晶ディスプレイ用薄膜トランジスタ(TFT)など,種々の半導体デバイスの特性に大きく影響する.本稿では,半導体の界面状態,特に界面電子状態を高感度で観測し,さらに界面物性を制御し,それによって半導体デバイス特に光電変換素子の電気的特性を向上さすという一連の研究について述べる.
