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PDF/月刊誌論文/code:pg_0004_10 マテリアル インテグレーション 2000年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0004_10 マテリアル インテグレーション 2000年4月号
INTER MATERIAL 21世紀に飛躍する材料
New Nanocomposite Related Engineered Materials
薄膜材料のナノレベル複合化によるセンサ材料・デバイスの一体化
■著者
大阪府立産業技術総合研究所 材料技術部 小川 倉一
■要約
次世代材料・デバイスを実現し,新産業につながる技術開発について,種々検討されているが,筆者らが取り組んでいる高性能センサデバイスに関連した各種材料の薄膜化技術においては,イオン・プラズマ,励起ビーム(レーザ光,電子線,紫外線光等)を組合わせた非平衡プロセスが有効であると考えられる.さらにナノ複合化の材料としては金属,セラミックス,高分子等の同種・異種物質をナノオーダーで複合化・積層化することにより量子サイズ効果等による新しい原理に基いたセンサデバイスが期待できる.本稿では,これらの考えに基いて,ナノ複合化薄膜の合成と応用例について筆者らの具体的な取り組み例を紹介する.
