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PDF/月刊誌論文/code:pg_0105_05 マテリアル インテグレーション 2001年5月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0105_05 マテリアル インテグレーション 2001年5月号
MATERIALS INTEGRATION ナノ・ケモテクノロジーへの招待-奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科-
強誘電体薄膜のナノ構造とそのメゾスコピックな物性
■著者
物質創成科学研究科 光機能素子科学講座 布下正宏 太田淳 徳田崇
■要約
最近の物質科学の研究の特色は,物理学,化学,生物学などの従来の学問の枠を越えて研究が進展し,さらにテクノロジーの進インターネットの爆発的普及による予想を遥かに上回る情報量の増大によって,マイクロ波とフォトニックスの融合が急速に進み,各情報機能デバイスに対してますます高性能化(超高速化,大容量化,低電圧・省力化)が求められている.しかしそれらのデバイスの微細化や高密度集積化には物理的かつ経済的な限界が目の前に迫っており,次世代デバイスの実現に向けたブレイクスルーのためには新しい機能材料・物質の創成と超先端ナノテクノロジーの開発が必須となっている.最近の先端デバイスの超微細化,極薄膜化に伴って,これらの強誘電体特有の分域(ドメイン),微結晶粒(グレイン),化学等量(ストイキオメトリー)からのずれなどのナノ構造,メゾスコピック物性がその機能やデバイス特性に及ぼす影響が顕著になり,逆にそのナノ構造の制御によって,例えば高温超伝導のように量子効果などの活用で時にはそのデバイス特性を大きく飛躍させることも期待できる.しかし,強誘電体薄膜のナノ構造とメゾスコピック物性との関係に基づく新しいデバイス機能や特性の発現機構については未だ明らかにされていない.この小論文では,ペロブスカイト系誘電体を取り上げて,その極薄膜のナノ構造におけるメゾスコピック物性の観点から最近の研究開発の状況と今後のデバイス応用上の課題や問題点を紹介する.
