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PDF/月刊誌論文/code:pg_0106_03 マテリアル インテグレーション 2001年6月号

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PDF/月刊誌論文/code:pg_0106_03 マテリアル インテグレーション 2001年6月号
ELECTRONIC CERAMICS ナイトライドセラミックスの新展開(1)

金属酸化物とアンモニア気流の反応による窒化物の合成
■著者
大阪大学大学院工学研究科 中川 貴、加納正孝、山本孝夫、桂正 弘

■要約
近年,様々な金属窒化物が硬セラミクス材,磁性材料,超伝導材料等として注目を浴びている.窒化物合成法として,金属と窒素やアンモニア気流またはアンモニアと水素の混合気流との反応,窒素雰囲気中での炭素熱還元が一般的である.しかし,金属は一般的に酸化物に比べ高価であり,炭素熱還元は高温反応であるという欠点がある.より安価な酸化物を原料とし,比較的低温でも窒化物合成の可能なアンモニア窒化と組み合わせれば,工業的にも適した方法といえる.実際,金属酸化物とアンモニア気流を反応させ窒化物を合成する方法がこれまで幾つかの金属で報告されている.しかし,これらの報告では,どのような条件ならば窒化物が合成できるのかについての考察はない.本論では金属酸化物とアンモニア気流の反応による窒化物合成を行い,その過程を熱力学的に検証した結果について報告する.
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