- 商品コード：
-
code:pg_1103_08
PDF/月刊誌論文/code:pg_1103_08 マテリアル インテグレーション 2011年3月号
- 通常価格(税込)：
-
2,200
円
- 販売価格(税込)：
-
2,200
円
ポイント：
0
Pt
- 関連カテゴリ：
-
電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2011
PDF/月刊誌論文/code:pg_1103_08 マテリアル インテグレーション 2011年3月号
ELECTRONIC CERAMICS グリーンイノベーションを支える産総研の電子セラミックス研究
塗布光照射法を用いた金属酸化物膜の有機基板上への作製
■著者
産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門、フレキシブル化学コーティンググループ 土屋 哲男
■要約
To prepare the oxide film on an organic substrate, we have investigated i) the photo reaction of an metal organic compound using excimer lamp, and ii) the photo reaction of the nano-particles (PRNP) for thin films processing at room temperature without vacuum system. In the case of using the metal organic compound and 172nm excimer lamp irradiation, RbVO3 phosphor thin film was obtained on PET substrate. On the other hand, by using the PRNP process, ITO transparent conducting film and CaTiO3:Pr phosphor films were prepared on glass and PET substrates at room temperature. For the preparation of the transparent conducting thin film, dense ITO film was successfully obtained by PRNP method in N2 atmosphere at room temperature. The resistivity of the film on glass substrate was 5.94×10-4Ωcm.
