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PDF/月刊誌論文/code:pg_0107_08 マテリアル インテグレーション 2001年7月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0107_08 マテリアル インテグレーション 2001年7月号
INTER MATERIAL ナイトライドセラミックスの新展開(2)
TiNコーティングによる高温水素遮断
■著者
京都大学大学院エネルギー科学研究所 エネルギー基礎科学専攻 錦織 徳次郎、伊藤 靖彦
■要約
筆者らはTiNをモデルケースに選び,これまで,溶融塩電解窒化法,ガス窒化法,イオンプレーティング法により作成したTiNコーティングについて,電気化学と粒子線分析法を組み合わせた新たな研究方法により,高温水素遮断能とその窒素濃度,膜厚,構造・形態への依存性等の観点から研究を進めている.
