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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_01 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_01 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
MATERIALS INTEGRATION 3次元マイクロ構造の創製と応用
光デバイス用任意次元フォトニック結晶の創製と応用
■著者
東北大学未来科学技術共同研究センター フォトニクス産業創製グループ 三浦 健太、科学技術振興事業団プレベンチャー事業 フォトニック結晶偏光子、プロジェクト 研究員 石川 理、東北大学未来科学技術共同研究センター フォトニクス産業創製グループ 客員教授 川上 彰二郎
■要約
我々は,任意次元のナノスケール周期構造を簡単に作製する方法として,「自己クローニング法」を提案,開発した.その特長は2.3項で詳しく述べるが,従来のフォトニック結晶作製技術に比べ,構造やサイズ,及び周期数の自由度が極めて高く,特に基板に垂直方向(積層方向)に関しては,作製途中でも周期や材料を原理上自由に選べるなど数々の大きな利点を持っており,フォトニック結晶を産業に結びつける上で極めて実用性の高い手法である.本稿では,第二節でこの自己クローニング法による任意次元フォトニック結晶の作製について述べ,本手法の工業上の有効性を明らかにする.更に第3節では,自己クローニング型フォトニック結晶の応用について述べる.(はじめにより)
