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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_03 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_03 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
MATERIALS INTEGRATION 3次元マイクロ構造の創製と応用
ミリ波通信用三次元フォトニック結晶の創製と応用
■著者
大阪大学 接合科学研究所 所属 日本学術振興会 特別研究員 桐原 聡秀、大阪大学 接合科学研究所 教授 宮本 欽生
■要約
フォトニック結晶が十分な電磁波の反射機能を発揮するためには,あらゆる結晶方向に対して幅の広いバンドギャップを形成する必要がある.最も理想的な構造として提唱されているのが,三次元ダイヤモンド構造である.たとえば,球状の誘電体をダイヤモンド構造の格子点に配置した結晶や,誘電体柱の組み合わせでダイヤモンド構造の原子結合を模した結晶などである.様々な研究者によって理論計算が行われ,全ての結晶方向に幅広いバンドが開くことが確認されている.しかしながら,このような三次元の複雑構造を従来の加工方法で作製するのは非常に難しい.そこで我々は,三次元フォトニック結晶の作製にCAD/CAM(Computer Aided Design / Computer Aided Manufacturing)プロセスの一種である光造形法を用いようと考えた.本稿では高誘電率セラミックスを分散したエポキシ系フォトニック結晶の光造形法による作製技術を中心に紹介したい.