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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_05 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_05 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
MATERIALS INTEGRATION 3次元マイクロ構造の創製と応用
走査電顕下での微粒子3次元配列:その技術と光科学への応用
■著者
物質・材料研究機構材料研究所インテリジェント材料研究グループ 宮崎 英樹
■要約
筆者は,光の波長オーダ(1μm前後)のマイクロ構造物と光との相互作用を調べるためには,走査電子顕微鏡(SEM)観察下で1個1個の光波長サイズの微粒子を配列する技術が重要と考え,実際に構造物の光学特性の解明に応用しつつ,技術開発を進めてきた.本稿では,SEM観察下での微粒子配列技術の現状と,その光科学への応用例を紹介する.(はじめにより)
