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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_07 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0108_07 マテリアル インテグレーション 2001年8月号
MATERIALS INTEGRATION 3次元マイクロ構造の創製と応用
シリコンモールディング法による3次元マイクロ構造体の作製と微小電気機械システムへの応用
■著者
東北大学 大学院工学研究科 李 敬 鋒、渡辺 龍三、田中 秀治、東北大学 未来科学技術共同研究センター 江刺 正喜
■要約
筆者らは,シリコンのマイクロマシニング技術によりマイクロスケールのシリコン型を作れば,それを用いることにより格段に小さく複雑な部品が作れるではないかと考えた.実際に,我々は微細加工したシリコン型を用いて圧電セラミックスのマイクロロッドアレイ(microrod array),マイクロ熱電素子,反応焼結炭化ケイ素セラミックスのマイクロローターの作製に成功している.本稿では,シリコンモールドのマイクロ加工法も含めて,シリコンモールディングプロセスによる3次元マイクロ構造体の作製と微小電気機械システムへの応用を概説する.(はじめにより)
