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PDF/月刊誌論文/code:pg_0202_01マテリアル インテグレーション 2002年2月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
MATERIALS INTEGRATION マイクロ化学センシングシステム
集積化ミクロ化学システム
■著者
東京大学 工学部付属総合試験所 助教授 金 幸夫 他
■要約
我々は,種々の微細加工法を用いて作製した数十nmから数百μmサイズのマイクロチャネル内の微小空間の特徴や,それを利用した化学プロセス・分析法など多岐にわたるマイクロ化学システムの研究を行ってきたが,本稿ではマイクロチャネルの特徴を概観した後,複数の機能・プロセスを一枚のチップに集積化したミクロ化学システムについて紹介する.
