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PDF/月刊誌論文/code:pg_0202_08マテリアル インテグレーション 2002年2月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
MATERIALS INTEGRATION マイクロ化学センシングシステム
集積化光電圧法バイオセンサ
■著者
埼玉大学 工学部 教授 勝部 昭明
■要約
LAPS は,半導体の表面ポテンシャルの変化を検出する測定法であり,原理的にはISFETの動作と同じである.しかしISFETとは信号を読み出す手法が異なる.ISFETでは半導体表面に蓄積した電荷量を端子(ソース,ドレイン端子)を作りつけて読み出す.これに対しLAPSでは光をプローブとして用い非接触に読み取る.このためLAPSでは信号を読み取るための配線は電極表面に一切不要であり,構造が極めてシンプルである.このため電極表面にマイクロマシン技術により化学分析システムを容易に製作することが出来る.又光プローブを動かすことにより,電極表面の任意の点の測定が出来る.このような特長は従来の化学センサには無かったものであり新しい機能を持ったセンサが開発されている.本稿ではLAPSバイオセンサの開発の現状を述べる
