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PDF/月刊誌論文/code:pg_0205_07 マテリアル インテグレーション 2002年5月号
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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文)
> 2002
MATERIALS INTEGRATION 機能に富んだ材料シリコン
ポリシラン複合膜
■著者
大阪大学大学院 工学研究科 助手 長山智男 他
■要約
これまで著者等は,ポリシランの新規な応用ならびに用途展開を目指して,ポリシランのUV 光分解による選択的物質変換ならびにそれに伴う物性変化を利用した様々な応用展開を検討してきた.本稿では,ポリシランを用いた複合薄膜を取りあげ,その形成方法および応用展開について,著者等の研究を中心に概説する.
