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PDF/月刊誌論文/code:pg_0205_09 マテリアル インテグレーション 2002年5月号

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電子出版物(マテリアルインテグレーション論文) > 2002
MATERIALS INTEGRATION 機能に富んだ材料シリコン

微結晶シリコン太陽電池-小さな結晶でも高効率
■著者
(株)産業技術総合研究所 つくば中央第2薄膜シリコン系 近藤道雄

■要約
薄膜微結晶シリコンの太陽電池への応用について概略を紹介している.一つの驚くべき事実は結晶としてみるとちっぽけな粒のあつまりである微結晶シリコンが意外にもデバイスとして大粒径な物と十分対抗しうるということと,本来高温相であるはずの結晶が水素と不純物という外的因子によって低温で作製され(これは同時に粒径の減少とアモルファス成分の増加を暗に意味する),デバイス特性が良好であるということである.
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