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PDF/月刊誌論文/code:pg_0303_03 マテリアル インテグレーション 2003年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0303_03 マテリアル インテグレーション 2003年3月号
ELECTRONIC CERAMICS セラミックスインテグレーション
自己組織化膜テンプレートを用いた酸化物セラミックスのパターン製膜
■著者
物質・材料研究機構 物質研究所 主任研究員 齋藤 紀子 他
■要約
筆者らは,パターン化した自己組織化膜の表面局所場をテンプレートに用いて,室温付近でのセラミックスのパターン析出技術の開発に取り組んでいる.SAM により基板表面を任意の官能基で修飾することが可能であり,さらに任意の箇所への紫外線照射等によりOH 基へ変性させることによってパターン化SAMが得られる.無機固体の析出速度はSAM テンプレートの表面官能基によって異なるので,反応性の差を利用して任意の部分に選択的にセラミックス膜を成長させることが可能である.セラミックス膜の合成プロセスは,各材料によって様々な方法が提案されており,その化学合成ルートは多様である.各種セラミックス材料のパターン析出のためには,それぞれの材料に適したSAM テンプレートと薄膜作成手法を見出していくことが必要である.本稿では筆者らの研究グループにおける電子セラミックスのパターン析出の研究例を紹介したい.
