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PDF/月刊誌論文/code:pg_0303_04 マテリアル インテグレーション 2003年3月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_0303_04 マテリアル インテグレーション 2003年3月号
ELECTRONIC CERAMICS セラミックスインテグレーション
フォトニック結晶及び高配向メソポーラス薄膜の合成と特性
■著者
東京大学 工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 桑原 誠 他
■要約
新機能材料の開発ということでは,これまで高温超伝導体物質の発見に触発される形で新物質の探索が主として行われてきたが,今後,形状・形態の効果および素子のインテグレーションによる新機能物性創出の観点からの研究が重要になってくると考えられる.Si 半導体技術では,既にMEMS をベースとしてまさにその方向に向けた展開がなされようとしており,セラミックス技術においても構造誘起型新機能物性の創出を目指した系統的かつ集中的な研究の遂行が望まれる.ここでは,我々がセラミックスインテグレーション基盤技術における基礎研究の一環として進めている,ゾル-ゲル法を用いた酸化物系フォトニック結晶及び高配向メソポーラス薄膜の合成と特性に関する研究内容について紹介する.
