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PDF/月刊誌論文/code:pg_0401_04 マテリアル インテグレーション 2004年1月号

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PDF/月刊誌論文/code:pg_0401_04 マテリアル インテグレーション 2004年1月号
INTER MATERIAL 異方性工学のすすめ(1) 構造と異方性

異方性ナノ空間形成材料-配向性メソポーラス薄膜-
■著者
キヤノン(株)先端技術研究本部 宮田 浩克

■要約
筆者らは,固ミ液界面における相互作用を利用し,面内での細孔の方向が一方向に制御された,二次元ヘキサゴナル構造のメソポーラスシリカ薄膜を作製する研究を行っている.現在までに,表面の構造異方性を有する種々の基板を用いて薄膜中の細孔の配向制御を達成しており,最近では物性の異方性を発現させることにもある程度成功している.ここでは,メソポーラスシリカ薄膜と,その細孔配向制御についての研究を簡単にレビューし,筆者らの研究の一部について紹介する.
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