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PDF/月刊誌論文/code:pg_1104_37 マテリアル インテグレーション 2011年4月号
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PDF/月刊誌論文/code:pg_1104_37 マテリアル インテグレーション 2011年4月号
MATERIALS INTEGRATION 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所(4,5月合併号)
軟X線多層膜光学の開発と応用-軟X線顕微鏡
■著者
東北大学多元物質科学研究所 先端計測開発センター 軟X線顕微計測研究分野 柳原 美廣
■要約
We have recently developed a soft X-ray microscope based on a multilayer-coated objective mirror and a laser-produced plasma light source. The spatial resolution of the microscope was estimated to be 140 nm with a 10 ns exposure time and 250 × 250 μm2 field of view. The resolution is higher than that of visible microscopes with the same size of field of view, and the exposure time is short enough to observe fine structures in-vivo. Observation of the cerebral cortex of a mouse is demonstrated, and then the basic technology developed for the soft X-ray microscope is presented.
